SEM ile Yapılan Analizler ve Uygulama Alanları

• Yüzey morfolojisi incelemesi: Örneğin yüzeydeki topografi, tane boyutu ve şekli gibi özelliklerin incelenmesi.
• Elementel analiz: Örnekte bulunan elementlerin tespit edilmesi ve miktarlarının belirlenmesi.
• Bileşen analizi: Örnekteki bileşenlerin kimyasal bileşimlerinin belirlenmesi.
• Kristalografik yapı analizi: Örneğin kristalografik yapısının incelenmesi ve kristal yönlerinin belirlenmesi.
• Partikül analizi: Örnekte bulunan partiküllerin boyutu, şekli ve kimyasal bileşimi hakkında bilgi edinilmesi.
• Yüzey kaplama analizi: Örneğin yüzey kaplamalarının kalınlığı ve bileşimi hakkında bilgi edinilmesi.

Bu analizler, malzeme bilimi, nanoteknoloji, jeoloji, fizik, biyoloji, kimya ve birçok alanda kullanılmaktadır ve malzemelerin karakterizasyonu, kalite kontrolü ve araştırma geliştirme çalışmalarında önemli bir rol oynamaktadır.

Teknik Özellikler

Çözünürlük: 0,6 nm (10kV)-0,8 nm (1kV)

Büyütme: 20x-2.000.000x

Voltaj: 0.1-30kV

Dedektörler: 

Üst Dedektör(UD): Yüzey bilgisi

Orta Dedektör(MD):Kompozisyon bilgisi

Alt Dedektör(LD):Topografi, yüzey pürüslülüğü bilgisi

Yarıiletken Tipi Geri Saçılan Elektron Dedektörü(PD-BSE):Atomik kompozisyon ve yüzey özellikleri hakkında ayrıntılı bilgi 

Ultra Değiken Basınç Dedektörü(UVD):Düşük vakumda (LD), yüksek vakumda (CL) özelliğinde çalışma

STEM Dedektörü: Biyolojik numunelerin, ince filmlerin ya da polimerik malzemelerin içyapıları hakkında bilgi

Enerji Dağıtıcı X-ışını Spektrometresi (EDS) Dedektörü: Oxford Ultim-Max 100 model, 100 mm² dedektör alanına sahip EDS dedektörü ile numunenin elemental kompozisyonu ve dağılımının belirlenmesi

Vakum: 5~300Pa